深紫外滤光片是一种专门设计用于选择性透过或截止深紫外波段光的光学元件。它主要针对深紫外光（波长通常在100nm-200nm左右）进行精确的波长筛选，通过特殊的材料和镀膜技术，使特定波长的深紫外光能够高效透过，同时对其他波长的光，包括深紫外波段内的非目标波长以及可见光、红外光等波段进行有效阻挡，从而获得具有特定波长和高纯度的深紫外光束，以满足如深紫外光刻、杀菌消毒、真空紫外光谱仪等特定领域的应用需求。
主要特点
- 高波长选择性：能够精确地选择特定波长的深紫外光通过，如中心波长为222nm的深紫外滤光片，可将该波长附近的光高效透过，而阻挡其他波长的光，半高全宽（FWHM）可以达到很窄，如5nm-10nm左右，从而保证出射光的单色性良好。
- 高截止深度：对于不需要的波长，尤其是可见光和红外光区域，具有很高的截止深度，通常可以达到OD3（透射率小于等于0.1%）以上，有的甚至能达到OD4、OD5等更高的截止水平，有效抑制杂散光。
- 高透过率：在其通带内，深紫外滤光片具有较高的透过率，一般优质的滤光片在通带内的透过率可达80%以上，部分高性能滤光片的透过率能接近90%甚至更高，以保证足够的深紫外光强度通过。
发展趋势
- 更高的性能要求：随着深紫外光刻技术向更高分辨率发展，以及生物医学、材料科学等领域对深紫外光应用的不断深入，对深紫外滤光片的性能要求越来越高。例如，要求滤光片具有更窄的带宽、更高的截止深度、更精确的中心波长控制以及更高的透过率等。
- 小型化和集成化：在一些微型光学系统和便携式设备中，需要小型化的深紫外滤光片。同时，为了满足复杂的光学系统设计需求，滤光片也逐渐向集成化方向发展，例如与其他光学元件集成在一起，形成多功能的光学模块。
- 新型材料和工艺的研发：为了克服现有材料和工艺的局限性，研究人员不断探索新型的光学材料和镀膜工艺。例如，开发在深紫外波段具有更好光学性能和稳定性的新材料，以及采用更先进的纳米制造技术和高精度镀膜工艺，以提高滤光片的性能和可靠性。
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