深紫外滤光片是指能在深紫外波段（通常为100nm-200nm左右）对光进行选择性透过或阻挡的光学器件。
高截止深度
在截止波段具有极高的截止率，能极大程度地阻挡不需要的波长光，仅允许深紫外波段的光通过。例如，185nm深紫外滤光片对非185nm波长的光线，尤其是可见光和其他近紫外光，具有极高的截止率。能有效阻挡这些杂散光，只允许185nm深紫外光通过，从而保证出射光的单色性，减少其他波长光线对实验或应用的干扰。
高透过率
在深紫外目标波段内具有尽可能高的透过率，能让深紫外光最大限度地通过，减少光能量的损失。一般来说，优质的深紫外滤光片在其通带内的透过率可达到90%以上，从而保证了深紫外光信号的强度和质量。
高精度波长选择性
能够精确地选择特定波长的深紫外光通过，具有极窄的带宽。比如，其带宽可以达到几纳米甚至更小，能从复杂的光谱中精准地分离出所需的深紫外波长，满足特定实验或应用对波长精度的严格要求。
良好的光学均匀性
滤光片在整个通光区域内的光学性能保持高度一致，确保深紫外光在通过滤光片后，在不同位置的透过率和波长特性基本相同。这有助于保证光学系统的稳定性和可靠性，避免因滤光片的不均匀性导致深紫外光在不同区域的强度或波长出现偏差。
高损伤阈值
能够承受较高的深紫外光功率密度，不易在高能量深紫外光的照射下发生光学损伤。这一特性使其适用于高功率深紫外光源的应用场景，如深紫外激光加工、光刻等领域，可在高能量光的长期照射下保持性能稳定。
材料稳定性
采用的材料具有良好的物理和化学稳定性，在深紫外光的长期照射以及不同的环境条件下，不易发生老化、变质或性能退化的现象。例如，滤光片的材料能够抵抗深紫外光引起的光化学反应，以及在不同温度、湿度环境下保持尺寸稳定，从而保证了滤光片的长期使用寿命和性能可靠性。
定制化
可以根据不同的应用需求进行定制化设计和制造。例如，根据具体的光学系统参数、所需的波长范围、透过率要求等，调整滤光片的材料、膜层结构和厚度等，以满足各种特殊的应用场景和客户的个性化需求。
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